随着制备工艺逐步成熟和生产成本的不断降低,第三代半导体材料正以其优良的性能突破传统材料的瓶颈,成为半导体技术研究前沿和产业竞争焦点,美、日以及欧盟都在积极进行战略部署。美国已经将部署第三代半导体战略提升到国家层面,先后启动实施了“