随着现代制造业加工水平的不断提高，对各类自动化设备的精度也提出了越来越高的要求。传统的伺服电机系统一般都采用半闭环控制方式，即通过伺服电机自身的编码器检测机械末端负载的位置并进行控制。虽然，伺服电机自带的编码器的精度非常高，但由于伺服电机通常需要通过多级机械传动来控制末端负载进行运动，而机械传动机构又不可避免地存在诸如反向间隙、机械磨损、受力形变、安装精度等问题，从而导致机械末端负载的实际位置与目标位置之间存在误差。因此，在许多高精度、高可靠性应用场合，通常采取在末端负载处安装高精度光栅尺或旋转编码器作为位置反馈的全闭环控制方式来消除由机械传动机构所产生的误差。本文将详细介绍安川伺服全闭环控制系统以及相应参数的设定方法。

2  光栅尺反馈的伺服全闭环系统

2.1 系统构成

采用直线光栅尺进行全闭环控制的系统构成如图1所示，