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力冠微电子: SiC装备项目落户济南

作 者: 来自:2025年第5期"电力电子专栏" 阅读 805

近日,据力冠微电子官微透露,他们的二期扩产能项目已与济南槐荫经济开发区政府成功签约。

据了解,本次签约的山东力冠微电子装备产业园二期项目计划总投资数亿元,将建设7万平方米智能化生产基地,新增12英寸SI-CVD设备、SiC-PVT设备、AI工艺控制系统等10条高端产线。

项目建成后,将成为国内领先的半导体装备智能制造示范基地,预计年产值突破15亿元,带动本地就业超800人,并吸引10家全球核心供应商落地,进一步强化槐荫区在半导体装备领域的产业集聚效应。

值得注意的是,力冠微电子进一步透露,他们的硅基8英寸立式机台、8英寸/12英寸SiC-PVT设备获得国际知名客户验证与认可、12英寸SiC-PVT电阻设备技术迭代取得显著进展,设备良率突破99.2%

其中,他们自主研发的8英寸PVT碳化硅长晶炉已实现批量销售,涵盖感应加热与电阻加热两种技术路线,目前已成功导入国内外头部客户

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