一、概述
M-2型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量装置，它可以测量片状、块状半导体材料的电阻率，扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。也可测柔性导电薄膜和玻璃等硬基底上导电膜的方块电阻（简称方阻），换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。
本测试仪可赠设电池供电，适合手持式变动场合操作！
仪器所有参数设定、功能转换全部采用一旋钮输入；具有零位、满度自校功能；自动转换量程；测试探头采用高耐磨碳化钨探针制成，故定位准确、游移率小、寿命长；测试结果由数字表头直接显示。
二、基本技术参数
1. 测量范围、分辨率
电 阻： 1.0×10-2 ～ 2000 Ω, 分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×10 Ω
电 阻 率： 1.0×10-2～ 200 Ω-cm 分辨率0.1×10-2 ～ 0.1 Ω-cm
方块电阻： 1.0×10-1 ～ 2000Ω/□ 分辨率1.0×10-1 ～ 0.1×10 Ω/□
2. 可测半导体材料尺寸
直 径： 测试台直接测试方式 Φ15～130mm，其他方式不限.
长（或高）度： 测试台直接测试方式 H≤160mm, 其他方式不限.
3. 量程划分及误差等级
量程 2.000 200.0 20.00 2.000 200.0
kΩ-cm/□ Ω-cm/□ mΩ-cm/□
基本误差 ±1%FSB±2LSB ±1.5%FSB
±4LSB
4) 适配器工作电源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W，或电池供电
5) 外形尺寸：W×H×L=18cm×7.5cm×13cm
净 重：≤0.5kg