特点[Features] 1、结构紧凑
ComPACt Structure
2、装有挡板.
Equipped with Baffles
3、可获得超高真空
Producing Ultra-Hing Vacuum
4、返油率低
Low Oil Backstreaming
5、工作可靠
Reliable Operation
6、使用寿命长
Long Service Life
用途[APPLICATIONS] 用于超高真空镀膜设备
In other ultra-high vacuum coatere
2、其他超高真空系统
In other ultra-high vacuum systems

极限压力Ultimate pressure 　　　　(Pa) 7×10-5
抽气速率Pumping speed 　　　　 (L/s) 300
最大排气压力Max. pumping pressure 　　　　(Pa) 40
加热功率Heating power 　　　　　(KW) 1-1.2
注入油量Oil filling 　　　　(L) 0.26
重量Weight 　　　　(L/min) 20