日机电装（nikki dense）XYθ组合平台表现出色，在低速稳定（速度变化：10mm/sec时为0.2％）这是超薄平面型直线伺服电机无铁心NVA- AM型和大推力无铁心直线电机NVA-BM型组合成XY轴，三轴平台使用DD马达作为θ-axis使结构更为紧凑

测量高精度X-Y-θ平台 垂直度为5μm 分辨率0.1μm     X-Y-θ平台几款典型产品（实际可根据客户需求组合） 1、超薄XYθ平台400mmx460mmxH144.5mm *总高度140mm  超薄NVA-AM平板式直线电机被用于X轴和Y轴，X-Y平台总高度95.5mm。高度为44.5毫米DD马达作为θ轴，X-Y-θ总高度只有140毫米。 薄和低结构的机械结构可以提供低速运行的稳定性极好，而且还在高速运动时良好的重复定位。   2、X-Y-θ平台 600mm X 800mm X H 194.5mm *高精度型  高推力型NVA-BM直线电机被用于X轴。 超薄型NVA-AM直线电机被用于Y轴，编码器分辨率高达0.02μm，但它仍然可以运行在1500mm/sec速度。 可实现1μm的定位精度和速度变化为0.03％。 高精度DD马达用于θ轴，其径向和轴向的跳动小于10微米。   3、Ｘ-θ 平台 (双边驱动) 605mm X 1000mm X 143.5mm
*双边驱动系统 两支NVA-BM高推力型直线电机被用于X轴。通过使用“双边驱动”生成的最大推力1800N。绝对定位精度在1微米。通过使用并行驱动系统，它可以降低成本和设备的大小。