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Yokogawa-横河DD平台

Yokogawa-横河DD平台
  • 品牌:YOKOGAWA-横河电机
  • 型号:DD-Stage
  • 产品简介:横河电机是在日本国内拥有28家关联公司,在全世界27个国家中拥有61家公司的跨国性集团公司。横河电机将测量、控制、信息作为自己的技术领域,通过为产业的发展和社会的进步做出贡献,持续发展至今。
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详细介绍
产品说明:
1.MicroStage是横河公司推出的独特的整合了直线电机、横河直接驱动电机的三轴运动平台。DYNASERV在市场取得好成绩的销售已经有10年了,伴随着DYNASERV系列直接驱动伺服的发展,LINEARSERV系列直线电机也取得了良好的发展与壮大。        MicroStage是一种结合了两台LINEARSERV系列直线电机以及DYNASERV系列直接驱动伺服的高速、高精度的运动控制平台。        MicroStage运动平台可以应用与各个工业的各个机械设备,特别是应用在半导体制造以及探伤检测设备上,这种高精度的运动控制平台已经被非常多的用户认可。 正交度:25um 平行度:+-20um(全行程) 重复定位精度:+-0.1um(全行程)  
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