无铁芯型
1、 动子线圈单元轻，响应极快。
2、 齿槽效应小，速度脉动小，动作非常平滑。
3、 不存在吸引力，导向的负荷最小化。 有铁芯型
1、 推力密度高，能用于大推力场合。
2、 电机的安装空间可以减小。
3、 电机驱动单元的刚性很强，适用于较大重量负荷的高速定位场合。 ■特点：
●行程可根据需求设定
定子磁铁模块化设计，可根据需求进行组装，电机行程可自由地设计。
●丰富的产品系列
无铁芯型，持续推力从7N到300N（最大推力21N到850N）
有铁芯型，持续推力从250N到1500N（最大推力750N到4500N）
●高速高精度的定位
1、 宽调速范围：超低速（10μm/sec）到 超高速 （3m/sec）宽调速范围，特别在低速时速度脉动极小。
2、 高精度：安装在线性马达上的光栅尺分辨率根据选用可达到超高定位精度（0.1μm）。
3、 高加速性能：最大加速性能可达到200m/s2（20G）以上。 ■应用领域
●半导体制造装置：IC取出装置、接线器、扩散炉、电子绘图装置、晶片搬送装置
●精密XY平台：激光加工机，超高速驱动、定位驱动、在清洁室、真空环境中的精密工作台
●机器人搬送装置：提取和放置，高频往复驱动装置。
●机床：高加速度驱动头和工作台
●量测/检查装置：高精度量测装置，高速检测装置
●其他：物流搬送。 ■基本规格范围
 
额定推力N 7-1500
 
额定线速度M/s  0.7~3.0
 
编码器分辨率μm 0.1~0.5