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产品内容

Aerotech精密气浮转台

Aerotech精密气浮转台
  • 品牌:Aerotech-艾罗德克
  • 型号:ABRS,ABRT
  • 产品简介:自1970年Aerotech开始研制最高性能的运动控制产品和精密定位系统,这些产品广泛应用于世界范围内的工业制造、政府及自然科学研究等行业。
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详细介绍
产品说明:
ABRT超精密转台
1专为硅片检测,X射线衍射系统,光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计
2无刷无槽伺服电机直接驱动
3突出的速度稳定性,波动率低于万分之一(电机无接头效应)
4卓越的运动性能,误差小,无抖动
5直联高精度旋转编码器
6扁平结构设计
7无机械接触
台面直径100-200mm
分辨率0.027-0.055arcsec
双向重复定位精度<1arcsec
定位精度 <2 arc sec
异步轴跳 <20nm
异步径跳 <20nm
ARMS超精密模拟仿真转台
1. 为超高精度运动而设计。
2. 无刷力矩电机直接驱动,可选更高速度和力矩电机。
3. 突出的速度稳定性。
4. 卓越的运动性能,误差小,无抖动
5. 有效载荷达230 kg
6. 预装有集流环
台面直径:146~260mm
反馈分辨率:0.02~4 arc sec
双向重复定位精度 0.5 arc sec
定位精度         2.5 arc sec
速度波动率       0.0001%
ABRS超精密转台
ABRS气浮轴承精密运动转台拥有一个低矮的外形轮廓,并且能够提供出众的角度定位精度,卓越的速度稳定性以及极小的运动误差。ABRS精密转台的设计应用于硅片检测,高精度测量,激光衍射系统,光学检测和制造以及纳米制造技术。
特点:
1. 无刷无槽力矩电机直接驱动
2. 卓越的速度稳定性(无齿槽效应)
3. 极佳的运动性能,误差小,无抖动
4. 直连式高精度圆光栅反馈
5. 扁平结构设计
6. 气浮轴承,无机械接触
台面直径:128~278mm
反馈分辨率:0.036~0.18 arc sec
双向重复定位精度:<1arc sec
定位精度: 2 arc sec
异步轴跳: 20nm
异步径跳: 20nm
ADR系列精密转台
ADR系列直接驱动转台提供精确的角度定位和速度控制。应用范围包括高速激光加工和硅片精密检测。
特点:
1. 无刷力矩电机直接驱动
2. 无齿槽设计提供卓越的速度稳定性
3. 极佳的运动性能,误差小,无抖动
4. 直连式高精度圆光栅反馈
5. 高精度机械轴承支撑
6. 最大载荷可达150kg
台面直径:57~240mm
反馈分辨率:0.036~13 arc sec
双向重复定位精度: 1arc sec
定位精度: 2 arc sec
轴跳: 0.5um
径跳: 1um
AOM360D光电跟踪转台
AOM360D全方位定位装置能够提供最精确的方位角和仰角值。军工级品质的电机,轴承和传感器组合而成的机架装置保证了整体的最佳性能。AOM360D被应用于使用传感器和光学设备对方位角和仰角值进行自动检测。其他应用包括方位校准,激光束指引,目标捕获及跟踪,照相机和光电望远镜的扫描和定位。
特点:
1. 所有轴均可360度旋转
2. 超精确的定位精度和双向重复定位精度
3. 超低的轴向摆动及正交性
4. 无刷无槽力矩电机直接驱动
5. 高精度圆光栅反馈
6. 无齿槽设计提供卓越的速度稳定性
7. 热稳定性好于0.4 arc sec/摄氏度
8. 负载直径可达500mm,负载质量可达50kg
9. 可以用于真空环境
负载直径193-485mm
负载质量  20~50kg
分辨率0.055arcsec
双向重复定位精度1arcsec
定位精度 2 arc sec
方位角摆动  3 arc sec
仰角摆动    5 arc sec
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