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ZLDS/N-100是一款非接触式高精度光学位移传感器,具有100微米的量程和15纳米的分辨率。它的起始测量距离是3mm,对于被测体有较宽的适用范围,比如金属,半导体和玻璃。该传感器可以很容易与现有设计相接合,而且具有较大的基准距,它可以相当于一个高分辨率的电容传感器。对于定点测量,振动测量,表面轮廓测量,ZLDS/N-100都是一款理想的测量工具。
应用领域
应用于光盘、硬盘的在线检测,还可以应用于电机等强磁场测振和表面轮廓测量。
主要特点
◆
高分辨率,可替代电容式传感器;
对电磁场不敏感,可用于电机等强磁场测振;
宽频带,可测高频振动体;
对被测体表面要求低,反射率4~100%均可用;
技术参数
ZLDS/N-100
量程μm
100
分辨率nm
15
线性度μm
±5
重复性nm
±75
信号接收范围μm
±400
带宽KHz
允许表面反射度%
4~100
传感器探头基准距mm
3.0
垂直容忍度
±0.1°
供电
±12VDC @80mA
传感器体长mm
58.7
测量点直径μm
控制器尺寸mm
98x32x13
电缆长度mm
460
◆技术规格可按客户要求定制。 ◆我们保留规格变化而不另行通知的权利。
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