亚纳米的分辨率；

重复性小于5nm；

低阿贝误差；

对湍流效应及大气压强变化不敏感；

占地面积小，重量轻；

可选真空版本；

易于安装，包括栅格安装的应力消除；

栅格和探头的间隙为12mm；

对准误差低；

完善的技术支持；可定制；

高速运作。
应用领域：

• 高精度低成本的位置控制；

• 实时校准；

• 精密金刚石车削实验室；

• 镜头自动对焦；