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高温单道推板式烧结炉、全自动推板烧结炉、全自动双推板式烧结炉、网带式电阻烧结炉、氢气氮气推板烧结炉、箱式气氛保护炉、管式炉、真空碳管炉、真空钼丝烧结炉、真空箱式电阻炉、真空热压炉、真空钨丝烧结炉、真空干燥箱、高压真空炉、高压气淬真空炉、真空加压回火炉、高温真空钎焊炉、真空退火炉、真空热处理加工炉、高压气氛炉、单室卧式高压高流率气淬真空炉、单室立式高压高流率气淬真空炉、双室卧式高压高流率气淬真空炉、双室卧式油淬真空炉、双室卧式油淬气冷真空炉、双室卧式低压渗碳油淬真空炉、叁室卧式油、气淬真空炉、单室卧式回火真空炉、单室卧式退火真空炉、单室立式退火真空炉、真空热处理炉、真空氢气处理炉、真空钎焊炉、全坦溶封炉、立式烧结炉、微控扩散炉、烘焙排蜡炉、陶瓷马弗炉、箱式马弗炉、温度控制仪、真空扩散炉、单管氢气烧结炉、双管氢气烧结炉、消磁炉、真空消磁炉、温度控制调节器、单管卧式烧结炉、双管卧式烧结炉、高温烧结炉、陶瓷氢气烧结炉、单工位真空烧结炉、链带式烧结炉 ·描述 --------------------------------------------------------------------------------
该系统是生产半导体器件和大规模集成电路的重要设备。
1、系统组成:a)扩散炉主机 b)推拉舟及层流净化台 c)气源柜 d)排毒柜 e)微机控制柜2、扩散炉管数:1~4管/台
3、炉管内径:φ90㎜×240mm
4、恒温区长度:≤600mm±1℃(300~800℃) ≤600mm±0.5℃(800~1250℃)
5、单点稳定性:±1℃/24h(300~800℃) ±0.5℃/24h(800~1250℃)
6、气源路数:≤6路
7、气源控制:MFC或浮子流量计
8、推拉舟行程:最大1500mm
9、推拉舟速度范围及精度:(1~1000)± 3mm/min
10、推拉舟位置控制精度:≤3mm
11、冷却方式:水冷+风冷
12、微控部分采用STD总线功能模板
a)主CPU板:8031+32ROM+8KRAM+总线接口部件
b)信号调理板:完成对温度过程的采样、放大及高精度A/D的转换
c)人机界面板:接收键入信息管理,并配置9”液晶显示
d)推拉舟接口板:输出推拉舟速度值,完成舟位置检测,输出推拉舟的运动指令
e)MFC接口板:输出MFC设定值,将MFC的流量信息采入计算机
f)可控硅控制及形状量输出板:完成与可控硅触发及开关量放大驱动器接口等功能
g)键盘:采用标准键盘或专用小键盘h)电源板(非STD总线板)i)可控硅触发板:完成可控硅的过零触发或移相触发驱动(非STD总线板) j)开关量驱动板:完成由STD总线板的数字信号(TTL电平)的转换、放大,用于驱动气路阀(非总线板) k)推拉舟驱动部分:接收总线板输出的推拉舟速状态指令,并将位置转换成标准信号输出,有手动自动转换
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