微型化速度加快
值得特别关注的是近年来随着集成微电子机械加工技术的日趋成熟,传感器制作技术进入了一个展新阶段。微电子技术和微机械技术相结合,器件结构从二维到三维,实现进一步微型化、微功耗,并研究把传感器送入人体,进入血管,研究称分子的重量和DNA基因突变的微型传感器等。
功能日渐完善
随着集成微光、机、电系统技术的迅速发展以及光导、光纤、超导、纳米技术、智能材料等新技术的应用,进一步实现信息的采集与传输、处理集成化、智能化,更多的新型传感器将具有自检自校、量程转换、定标和数据处理等功能,传感器功能得到进一步增强和完善,性能进一步提高,更加灵敏、可靠。
生物、化学传感器研究速度加快
新世纪中,全世界范围内对生命科学的研究加速,对人类生存的环境更加重视。新型生物传感器和化学传感器的研究和开发已成为重点和热点。
为了人类的健康,目前正在研发多种DNA传感器、蛋白质芯片、细胞芯片以及集成化的实验室芯片(LabonChip)或称微全分析系统(μTAS);研发监测大气污染、水质污染所急需的各种新型传感器,以取代目前笨重、烦琐的检测系统。
商品化、产业化前景广阔
在新型传感器的研究开发同时,注意新型材料、设计方法、生产工艺、测试技术和配套仪表等基础技术的同步发展,更加注重实用化,从而保证了成果转化和产业化的速度更快。
创新性更加突出
新型传感器的研究和开发由于开展时间短,往往尚不成熟,因此蕴藏着更多的创新机会,竞争也很激烈,成果也具有更多的知识产权。所以加速新型传感器的研究、开发、应用具有更大意义。
新型传感器研发的重点——-基于MEMS技术的新型微传感器
微传感器(尺寸从几微米到几毫米的传感器总称)特别是以MEMS(微电子机械系统)技术为基础的传感器已逐步实用化,这是今后发展的重点之一。
微机械设想早在1959年就被提出,其后逐渐显出采用MEMS技术制造各种微型新型传感器、执行器和微系统的巨大替力。这项研发在工业、农业、国防、航空航天、航海、医学、生物工程、交通、家庭服务等各个领域都有巨大的应用前景。
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