1 引言
作为当代科学技术和一个国家综合实力的重要标志——传感器技术,已成为当今世界备受亲睐、发展迅速的高新技术。传感器是由敏感元件直接感受被测量,并把被测量转换为电量的完整的测试装置。传感器的作用是关键性的,它是信息的源头与基础,是科学研究的必要手段,具有非常广阔的市场和强烈的社会需求。但是,传感器仍是信息技术发展的瓶颈,信息获取技术(传感/检测技术)大大落后于信息处理技术(计算机技术)和信息传输技术(通信、网络技术),所以传感器仍然居于推动科学技术发展进步的关键和基础地位,一直是相关行业科学家、工程技术人员研究的热点[1]。
随着自动化领域的不断扩展,需要测量的参数日益增多,对于低层测量仪器仪表的要求逐渐提高,对“感知”环节的传统传感器进一步提出了数字化、智能化、标准化的紧迫要求。这里涉及到