1  引言
  太阳能作为绿色清洁能源有着广泛的应用前景和发展潜力。目前国内太阳能行业正在蓬勃发展，主要以单晶硅，多晶硅，和非晶硅产品为主。其中非晶硅产品以价格低廉，污染小，制造成本低等优点受到广泛关注。对非晶硅太阳能电池的制造设备的需求也在不断增加。包括等离子体化学气相沉积设备(PECVD)和物理气相沉积设备(PVD)下文称PVD等主要设备。本文提供了用西门子的S7-300和WINCC作为PVD控制系统的方案。

  WinCC即Windows Control Center(视窗控制中心)，是一个功能强大的全面开放的上位机监控系统，既可以用于小规模简单的过程监控，也可以用于复杂的工控领域。

　SIMATIC S7-300系列可编程控制器是西门子全集成自动化控制系统中的控制核心，是其集成与开放特性的重要体现，该系列稳定、可靠和故障率低，在全球自动化的各个领域有着广泛的应用和成功经验。

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