洁净室又称无尘室, 是一种特殊设计和建造的环境。主要目的是在制造、科学研究或其他需要高度洁净和控制的应用中,提供一个极低微粒和污染物水平的空气环境。
例如:在半导体、光电面板的制造过程中,被加工件的导电性能会被环境中的金属离子破坏掉,洁净室可避免这种情况的发生。
洁净室依据洁净程度,可划分为零级、十级、百级、千级、万级乃至十万级、三十万级,其中数值越低,代表洁净室的等级越高。
洁净室的运营条件苛刻且复杂,不仅需将空气中的微粒子、有害气体、有机质等污染物进行排除,更需通过复杂的控制方式将影响室内环境的各项指标维持在标准数值内。
不同级别的洁净室有不同的运营标准: