单晶炉控制系统解决方案
发布日期：2011-12-16 浏览次数：49103
1. 伺服应用于坩埚升降及籽晶提升系统； 单晶炉控制系统相关功能如下：4.PLC 承载着整个系统的运算及执行。3. 视觉实时测量晶棒
1. 伺服应用于坩埚升降及籽晶提升系统；
单晶炉控制系统相关功能如下：
4.PLC 承载着整个系统的运算及执行。
3. 视觉实时测量晶棒生长尺寸
2. 触摸屏进行数据输入及状态显示；
OMRON FZ3 产品特点：
使用
FZ3 特有的“圆弧搜索”功能测量“引晶”“放肩”工艺，用“边缘搜索”功能测
量“转肩”“等径”工艺。 “引晶”阶段采集
10 个数据，“等径”采集 80 个数据，大
大提升了
FZ3 测量精度和数据稳定性。
1. 达到前所未有的高精度测量 --500 万像素
4. 图像失真修正 -- 减少输送过程或照相机位置的影响；
3. 高动态范围的功能 --FZ3 可以获得高达 500 ： 1 的动态范围；
2. 全景图象处理 -- 将 2 台或多台相机图象进行合成
5. 高速防光晕过滤器 -- 通过分析光的波长来消除产生光晕的镜面反射。
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