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质量流量传感器校准系统

放大字体  缩小字体 发布日期:2012-01-09   来源:北京泛华恒兴科技有限公司   浏览次数:48031
a)产品概述质量流量传感器校准系统作为质量流量传感器生产线终检校准设备,用于小量程质量流量传感器的通讯功能测试以及不同温度

a)产品概述

质量流量传感器校准系统作为质量流量传感器生产线终检校准设备,用于小量程质量流量传感器的通讯功能测试以及不同温度下的校准,以保证产品质量及精度。

b)应用专利技术

本系统中以下技术正在申请实用新型或发明专利:

《批量传感器固定可识别装置》
《无绕线针床夹具》
《高密封阀组》
《一种多气路连接器装置》

c)系统功能

主要功能

描 述

用户管理

管理用户登录及操作权限,按权限高低分为管理员、工程师、技术员、线长和操作员,管理员具有最高权限,可以添加、删除和修改用户信息;

工单操作

用于创建不同温度下的工单任务,只有当前存在的工单被终止或完成时,才能创建下一个工单;

参数配置

用于工程师对校准或测试参数进行配置;

模式选择

提供生产模式、工程师模式以及校验模式共三种工作模式;

错误日志浏览

为用户提供按时间查询的错误日志浏览;

数据存储

自动存储测试过程数据。

d)特性详解

兼容多种信号输出类型的传感器——

信号类型

输出方式

模拟量

电压信号

数字量

IIC通讯信号

SPI通讯信号

PWM脉冲信号

温度可控范围宽,稳定性优异—— 可实现-20℃~100℃范围内不同温度点的精确控制,温度控制精度为 1℃,目标温度下的温度波动度为 0.2℃;

良好的气路密封性——采用钢质气管,采用少接头设计,确保系统密封性。图示是使用同一传感器夹具进行5次(用不同颜色的曲线代表)泄漏测试时的泄漏率。(单位为sccm/s,测试压力为2.5psi,保压时间 20s,每个传感器夹具包含4条气路)

质量流量传感器校准系统

高测试校准精度——气体流量控制精度达 1sccm,温度控制精度 1℃。

高测试效率——系统可同时对32个被测件进行操作,8路总线并行的设计方法和温度的快速稳定为Cycle Time节约了大量时间,达到160 DUTs/h,满足生产线节拍的要求。

测试校准稳定可靠——GRR实验数据良好。图示为校准200sccm量程的传感器时不同流量点下(50/100/160/200sccm)的GRR数据,均<10%。

质量流量传感器校准系统

便于维护——设计了专门的探针模块用于从传感获信号点获取信号,损坏时更该模块即可;气路装拆方便;继电器状态通过指示灯显示,指示直观。

 

完善的安全机制——智能流程判断;提供急停等安全操作机制,在系统出现突发状况时对人及设备形成保护。

e)运行环境及系统指标

项目

描述

系统指标

流量范围

0~1000sccm/0~200sccm可选

节拍

160件/小时,32件并行测试

物理尺寸
(W D H)

温控箱外形尺寸:2300 1430 1960mm

热流机外形尺寸: 610 991 1303mm(Max.)
(热流机与温控箱距离不超过2m)

运行环境

运行环境

温度:0~50℃;湿度:35%~80%;

供电要求

AC 220V,50Hz

校准平台、热流机供电

AC 380V,50Hz

温控箱供电

供气要求

2.0bar

校准供气,干燥、纯净的氮气

5.0bar

气缸供气,干燥的压缩空气

90~100psi

热流机供气,干燥的压缩空气

 
 
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