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替代AON6566应用13串国产mos管工艺
AON6566由于硅氧化物层和硅衬底的刻蚀速率不同,且需要刻蚀的厚度也不相同,因此硅氧化物层的刻蚀步骤在轰击能力比较强的电容耦合等离子体(capacitivelycoupledplasma,ccp)刻蚀设备中进行,硅衬底的刻蚀步骤在轰击能力比较弱,等离子体损伤比较小的电感耦合等离子体(inductivelycoupledplasma,icp)刻蚀机中进行。
由于硅氧化物层和硅衬底的刻蚀步骤需要在不同的刻蚀设备中完成,因此工艺较为复杂,制造效率较低。
半导体产品从开始生产到完成制造,主要有两道加工工艺,分别被称为前道生产和后道生产。MOSFET 虽然是一种结构比较简单的半导体器件,但是也同样需要通过这两道生产加工工艺.
AON6566得益于在15V~200V低压领域的优异特性,业界对SGT MOSFET的研究在不断深入,目前SGTMOSFET在结构和特性方面的一些研究成果。采用NP交替掺杂代替单一的N型掺杂的多晶硅屏蔽栅极 SGT MOSFET被提出凹,通过在屏蔽栅极中引入PN结多晶二极管或者NPN多晶三极管结构,由PN结电容串联效应减小源漏电容Cps,即降低了输出电容Coss和与之相应的功耗Eoss,减小了器件开关过程中的能量损耗。SGTMOSFET NP交替掺杂屏蔽栅极(SSGT)与常规屏蔽栅极结构(SGT)随Vds变化下Coss和Eoss曲线比较高温反偏实验(HTRB)被广泛于功率器件结的可靠性测试和边缘终端鲁棒性的验证,其中包括BVDSS不稳定性和漏、源漏电流IDSS的增大。JifaHao等人发现传统的HTRB可靠性测试应力水平太低,无法达到SGT MOSFET的雪崩条件,不能捕获其BVDSS不稳定性现象。通过直流常数雪崩电流在SGT MOSFET器件漏极端的注入,可以测量到常温和高温下SGT MOSFET的BVDSS漂移,漂移量与注入雪崩电流的大小正相关,且随着温度的升高而增大12).通过雪崩电流注入可以测量到SGTMOSFET BVDSS漂移的机理在于:SGT漂移区是在反向耐压时时严格的电荷平衡状态,持续的电流注入应力使得空穴被注入到SGT MSOFET的屏蔽栅氧化物中,破坏了漂移区的电荷平衡,引起了BVDSS的walk-in或walk-out现象。
替代AON6566常见问题
例
锂电池保护板做充放电开关使用
一般情况下,MOS都处于开或关的状态,不用考虑MOS的开关速度,会在整体电路上设计了快速关闭回路。
要注意以下几个点:
1,注意DS电压,设计选型留有足够的余量。按照1.5倍MOS管的BVDDS
2,注意工作电流与保护电流,经验值是3~4倍以上为MOS的ID(DC) 。
3,多颗MOS并联,电流的余量尽量再大一点。
4,走大电流的方案,要综合考虑封装散热,内阻。
5,驱动电压要了解,尽量使MOS工作在完全开启状态,对于单片机驱动的方案,尽量推荐低开启的MOS。
另外在选用MOS管时要注意沟道类型,BVDDS ,ID导通电流,VGS(th),RDSON这几项参数。
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