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量，适用于各类清洁、干燥气体。MF4300工作压力提高到

1.0MPa， 测 量 范 围 涵 盖 0~10SLPM到 0~200SLPM。

2 MF4300提供多种信号输出，通过RS485或I C数字通讯接口

可实现远程数据采集与设置。MF4300具备LED数字显示和

按键功能，允许用户在现场调整或查询流量计的参数。

MF4300系列气体质量流量计是基于美国微机电系统有

限公司自主研制MEMS流量传感芯片，其原理是利用流动气

体传热传质的依存关系，在其上、下游产生温度变化而得

到气体的质量流量。

该流量计的MEMS芯片上集成了微热源与温度传感

器。当没有气体流过时，MEMS芯片上的微热源周边形成稳

定的温度场分布。当有气体流过时，微热源周边会形成新

的温度场分布。MEMS芯片上的温度传感器将测量到具体的

温度变化并转换为电信号，经放大、调理和线性化处理

后，通过LED显示或模拟、数字信号输出。由于不同种类的

气体对微热源周边形成稳定的温度场分布所产生的温度变

化不同，所以能测量气体的质量流量。