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方案
VS系列氦质谱检漏仪
特性及优点
·多种语言和计量单位选择,可选中文界面
·135o 电离偏转 (自然聚焦点)的全新质谱技术,金属密封结构
·新的电子线路及信号处理设计
·最小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程
·快速清氦和快速响应
·测试口耐压高,可实现大漏检漏
技术规格
性能指标
PR02
MR15&MD30
性能
前级泵内置式
前级泵外置式及小车
前级泵 油式机械泵
DS-42 2 m3/hr (34 l/m)
DS-302 14 m3/hr (232 l/m)
涡卷式干泵
N/A
TS-620 30 m3/hr (500 l/m)
最小可检漏率在1000ppm的氦气背景下
5×10-12 atm cc/sec;
5×10-12 mbar l/s;5×10-13 Pa m3/sec helium
测试口最高耐压
16 mbar,12 Torr,1600 Pa
测试口处对氦气抽速
1.8 l/s
校准程序
自动或手动(内置或外置)
氦本底清零
按键清零,并具有零点追踪功能
操作界面
高清晰彩显,TFT触摸屏
语言选择
中文/英语/法语/德语/日语/韩语/西班牙语
循环检测
可编程粗抽时间/测试时间,设置报废点
响应时间
<1.0秒
设定点
标准;5个设定点;常开或常闭;3个漏率点;1个压强点;1个声讯点
通讯协议
RS-232 通讯借口,9600波特率(9芯窜口)
执行标准
UL,CE,CSA
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