测量系统和信号处理
KGM包括一个固定在基座上的圆晶形状的二维栅格光栅和一个扫描头。测量时,扫描头非接触地在格栅板上运动。对设置操作,将基座固定在工件夹持元件(例如加工中心的工作台)上并对正。扫描头固定在静止不动的夹刀元件(例如加工中心的主轴)上并大致对正。用一片隔膜将扫描间隙设置为0.5 ±0.05 mm。用扫描头上的一组螺丝精细调整该间隙并借助ACCOM信号处理软件改善测量信号质量。
对相互垂直的两轴,KGM输出两个90°相位差、4 µm信号周期信号。测量信号发给计算机进行后续处理。 海德汉的EIB 741连接盒(以太网)和IK 220计数卡(PCI总线)用于连接KGM与计算机。 这两种设备都能将正弦测量信号细分4096倍,使每轴的测量步距达到约1 nm。 海德汉公司的ACCOM软件基于ISO 230-4标准处理测量值。 用ACCOM可以方便地为KGM对圆弧细分测试和自由形状测试进行编程。 ACCOM信号处理软件提示用户输入所有必要参数信息并生成相应NC程序,所生成的程序通过通信接口(串口或以太网或TCP/IP)可被立即装入CNC数控系统中。
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