1 引言 太阳能作为绿色清洁能源有着广泛的应用前景和发展潜力。目前国内太阳能行业正在蓬勃发展,主要以单晶硅,多晶硅,和非晶硅产品为主。其中非晶硅产品以价格低廉,污染小,制造成本低等优点受到广泛关注。对非晶硅太阳能电池的制造设备的需求也在不断增加。... [查看详情]